Treść książki

Przejdź do opcji czytnikaPrzejdź do nawigacjiPrzejdź do informacjiPrzejdź do stopki
zrywaniawiązańatomowychmiędzyatomamipowierzchniowymi.Oddziaływanietakie,
określanebombardowaniemjonowymlubrozpylaniem,prowadzidoczyszczeniapowierzch
-
nizatomówzanieczyszczeń,jejaktywacjiinagrzewaniawyrobu(rys.1.7).
Atomylubjonyzanieczyszczeń
napowierzchnipodłoża
Bombardującejony
wysokoenergetyczne
Atomylubjonypodłoża
Rysunek1.7.Usuwanieatomówzanieczyszczeńzpowierzchniwyrobuwprocesierozpylaniajonowego
Oddziaływaniejonówzpowierzchniąwyrobuzwiększasięzewzrostemwartościróżnicy
potencjałów(przyłożonegonapięcia).Wdyfuzyjnychprocesachplazmowychjestnajbar-
dziejefektywne,gdyciśnieniepoczątkowewkomorzejestniskieok.10Pa,aróżnicapo-
tencjałówmiędzyanodąikatodąok.1000V
.Czyszczenierozpyleniowe,określanerównież
trawieniemrozpyleniowym,jestskutecznewusuwaniuzpowierzchniobrabianegowyrobu
atomówzanieczyszczeńzwiązanychsilnymiwiązaniamipierwotnymizatomamipodłoża,
naprzykładpasywnejwarstwytlenków,takżeatomówtlenuiwęgla.Czyszczenierozpy-
leniowepowierzchniwyrobuumożliwiawytwarzaniewprocesachdyfuzyjnychwarstw
wierzchnichnastopachsamopasywujących,m.in.stalachodpornychnakorozjęlubstopach
tytanu.Czasczyszczeniarozpyleniowegowynosizwykle0,5-1h.Potymczasienastępuje
stopniowepodwyższanieciśnieniawkomorzedowartościwymaganejdoprowadzenia
efektywnejobróbkidyfuzyjnej.Typoweciśnieniepodczasobróbkiwynosiok.500Pa.
Kationy,wwidocznymwyładowaniujarzeniowymiwciemnymobszarzeCrookesaplazmy
wyładowaniajarzeniowego,tworząsięwwynikukolizjielektronówzatomamiicząstecz-
kami.Znacznywzroststopniajonizacjiigęstościprądujonowegouzyskujesiępoprzez
ograniczenieprzestrzenizelektronamidoobszaruwyładowaniajarzeniowego.Jestto
możliweprzezwytworzeniezewnętrznegopolamagnetycznegopowodującegoograniczenie
przestrzeniplazmy,cozwiększaliczbękolizjielektronówzatomamiicząsteczkamigazu,
aprzeztoliczbętworzącychsiękationówiwzmacniabombardowaniejonowe(erozję
rozpyleniową)katody.Wkonsekwencjiszybkośćwzrostupowłokiulegazwiększeniuwpo-
równaniudoprocesubezzastosowaniazewnętrznegopolamagnetycznego.Przedstawione
zależnościdoprowadziłydoopracowaniakatodymagnetronowej.
1.10.PLAZMAWiNŻYNiERiiPOWiERZCHNi
37